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見えない巨人：なぜ100年の歴史を持つポンプメーカー「荏原製作所」が、半導体戦争の最前線で世界をリードしているのか？

はじめに：あなたのデジタル世界を動かす「隠れたチャンピオン」

 

手元のスマートフォン、クラウドに保存された写真、そして日々進化を続けるAI（人工知能）。私たちの現代生活は、目に見えないほど小さな電子部品、すなわち「半導体」によって支えられています。この半導体の性能が、テクノロジーの進化速度を決定づけていると言っても過言ではありません。

しかし、この超ハイテクな世界の最前線で、実は100年以上の歴史を持つ日本の老舗機械メーカーが、なくてはならない存在として君臨していることをご存知でしょうか。その名は、株式会社荏原製作所。多くの人が「ポンプ」や産業機械のメーカーとして認識している企業です 1。

驚くべきことに、この荏原製作所は、半導体製造プロセスにおいて絶対に欠かせない2つの重要装置の分野で、世界第2位という圧倒的な市場シェアを握っているのです。その製品とは、「CMP装置」と「ドライ真空ポンプ」 4。

なぜ、巨大なポンプで水を動かしてきた企業が、ナノメートル（10億分の1メートル）単位の精度が求められる半導体の世界で、これほどの競争力を持つことができたのでしょうか。この記事では、荏原製作所の半導体事業に秘められた強さの源泉を解き明かしていきます。その答えは、同社が1世紀にわたって培ってきた歴史の中にこそ隠されていました。ポンプの技術が、いかにして最先端の半導体製造装置へと昇華したのか。その驚くべき旅路を、共に探っていきましょう。

 

水からウェーハへ：荏原の中核技術が生んだ驚くべき相乗効果

 

荏原製作所の強さの根源を理解するには、まず同社の原点に立ち返る必要があります。1912年に創業した荏原は、ポンプの国産化を目指すパイオニアとしてスタートしました 1。以来、同社はポンプや送風機といった「風水力機械」の分野で技術を磨き、社会インフラを支え続けてきました。その根底には、創業者・畠山一清が提唱した「熱と誠」という精神が流れています 2。これは、与えられた仕事をこなすだけでなく、自ら創意工夫する熱意と、誠心誠意やり遂げる心を持つという、徹底したエンジニアリングへの姿勢を示しています。

この歴史の中で、荏原が極めたのは**「流体の精密制御」と「高精度な回転機械」**に関する技術でした。都市に水を供給する巨大なポンプも、工場でガスを動かすコンプレッサーも、すべてはこの2つの要素技術の結晶です。一見すると、この伝統的な機械技術と、最先端の半導体製造は全くの別世界に見えるかもしれません。しかし、ここにこそ荏原の成功の鍵が隠されています。

半導体製造の核心に目を向けると、驚くべきことに、荏原が1世紀かけて培ってきた専門知識が完璧に合致するのです。

  • CMP装置：この装置は、化学薬品を含んだ研磨液（スラリー）という「流体」を、回転する半導体ウェーハの表面に均一に供給し、ナノレベルで平坦に磨き上げます。ここで求められるのは、まさに流体を精密にコントロールし、回転体を安定して動かす技術。これは、荏原がポンプで培ってきた流体制御技術そのものの応用でした 8。
  • ドライ真空ポンプ：半導体製造の多くの工程は、不純物を徹底的に排除した真空環境で行われます。この真空を作り出すドライ真空ポンプは、ガスという「流体」を外部に排出し続ける、極めて高度な回転機械です。これもまた、荏原の得意とする回転機械技術の延長線上にありました 6。

つまり、荏原の半導体事業への進出は、全くの異業種への挑戦ではなく、自らの中核技術を異なるスケールと精度で応用する「必然の進化」だったのです。都市の水道網を流れる水を制御する物理法則が、スケールを縮め、ナノメートルの精度にまで磨き上げられることで、シリコンウェーハを原子レベルの平坦さに磨き上げる技術へと繋がりました。この1世紀にわたる知見の蓄積こそ、新規参入者が容易に模倣できない、荏原の深く、強固な競争優位性の源泉となっているのです。

 

半導体支配を支える二本の柱

 

荏原の半導体事業における強さは、偶然生まれた一点突破の成功ではありません。それは、市場で圧倒的な地位を確立した2つの異なる、しかし補完的な製品群によって支えられています。この「二本の柱」が、同社を単なる装置サプライヤーではなく、半導体メーカーにとっての戦略的パートナーへと押し上げているのです。

 

絶対的な平坦性を生み出す芸術：CMP装置の支配

 

現代の半導体チップは、ミクロの世界にそびえ立つ超高層ビルのようなものです。何百もの層が積み重ねられて複雑な回路を形成しており、もしその土台となる層が少しでもデコボコしていたら、ビル全体が崩壊するように、チップは正しく機能しません 9。

この「各層を原子レベルで完璧に平坦にする」という、途方もなく重要な役割を担うのがCMP（Chemical Mechanical Polishing：化学的機械研磨）装置です 9。CMPがなければ、配線の多層化やチップの高性能化は不可能であり、現代の半導体製造は成り立たないとまで言われています 14。

この極めて重要な市場で、荏原製作所は圧倒的な存在感を放っています。

  • 市場での地位：荏原は、米アプライドマテリアルズ社に次ぐ世界シェア第2位を確固たるものにしており 5、将来的には世界シェアNo.1を目指すことを公言しています 17。
  • 技術革新：荏原の地位を決定づけたのは、画期的な技術革新でした。かつてCMPプロセスは、研磨時に発生する研磨くずの問題から、クリーンルームの外に専用の部屋を設ける必要がありました 11。これに対し荏原は、
    研磨・洗浄・乾燥までを全て装置内で完結させる「ドライイン／ドライアウト」技術を世界で初めて開発 11。これにより、CMP装置を他の製造装置と同じクリーンルーム内に設置できるようになり、製造効率と清浄度を劇的に向上させ、CMP技術の普及に大きく貢献しました。
  • 比類なき精度：同社の技術力は、直径30cmのウェーハ全面を、わずか10ナノメートル以下の誤差で平坦化できるほどの高精度を誇ります 18。これは、長年培ってきた流体制御と回転機械の知見がなければ達成不可能な領域です。
  • 顧客との連携と知財：半導体の進化に伴い、新しい材料や構造が次々と導入されます。荏原は、顧客である半導体メーカーと緊密に連携し、これらの最先端プロセスに最適な研磨技術を共同で開発する能力に長けています 8。また、基板の保持技術やプロセス制御に関する強力な特許ポートフォリオも、同社の競争力を支えています 20。

 

「無」の力：ドライ真空ポンプの重要性

 

半導体製造は、空気中の塵や目に見えない分子一つが致命的な欠陥となる世界です 23。そのため、回路の形成や薄膜の生成といった多くの重要工程は、不純物を極限まで排除した真空状態のチャンバー（装置内の部屋）で行われます。この真空環境は、いわばチップにとっての「超クリーンな手術室」であり、この環境を作り出す心臓部がドライ真空ポンプです 24。

そして、この分野でも荏原は世界のトッププレイヤーです。

  • 市場での地位：CMP装置と同様に、ドライ真空ポンプにおいても世界シェア第2位を誇り、二つの異なる市場で支配的な地位を築いています 5。
  • 「ドライ」であることの優位性：ドライ真空ポンプの最大の特徴は、その名の通り「油（オイル）」を一切使用しない点です 24。従来のオイルを使ったポンプでは、オイルが蒸発して真空チャンバー内を汚染し、製造中の半導体を破壊してしまうリスクがありました。荏原のオイルフリー設計は、このリスクを根本から排除し、半導体製造に不可欠な最高レベルのクリーンな真空環境を保証します 28。
  • 信頼性と効率性：24時間365日稼働し続ける半導体工場において、装置の停止は莫大な損失に繋がります。荏原のドライ真空ポンプは、長時間の連続運転に耐える高い信頼性と、省エネルギー性能で定評があります 26。この信頼性が、顧客に選ばれ続ける大きな理由です。
  • 包括的な製品群：研究開発用の小型・軽量モデルから、過酷なプロセスに対応する高負荷モデルまで、顧客の多様なニーズに応える幅広い製品ラインナップを取り揃えています 28。これにより、半導体工場が必要とする真空ソリューションをワンストップで提供できる強みを持っています。

このように、荏原は一つのニッチ分野ではなく、半導体製造の根幹を支える二つの領域でリーダーシップを確立しています。ドライ真空ポンプが「最高の舞台（真空環境）」を用意し、CMP装置がその舞台の上で「完璧な演技（平坦化）」を行う。この補完的な関係性により、荏原は顧客とより深く、より戦略的な関係を築くことが可能になっています。半導体工場にこれほど広く、かつ高品質な製品群を提供しているメーカーは世界でも類を見ず 31、これが同社を唯一無二の存在たらしめているのです。

 

製品

半導体製造における役割

荏原製作所の主な強み

世界市場シェア

CMP装置

半導体ウェーハの表面をナノメートルレベルで平坦化する。多層化された回路の品質を保証する上で不可欠。

研磨・洗浄・乾燥を装置内で完結させる革新的技術。流体制御技術を応用した超高精度な平坦化性能。

第2位 5

ドライ真空ポンプ

製造工程に必要な超高純度の真空環境を作り出す。不純物による汚染を防ぎ、製品の歩留まりを向上させる。

オイルフリーによるクリーンな真空。24時間稼働に耐える高い信頼性と省エネルギー性能。

第2位 5

 

成長のエンジン：戦略、投資、そしてグローバルリーチ

 

荏原製作所の半導体事業における成功は、過去の技術的遺産だけに頼ったものではありません。それは、未来を見据えた大胆な戦略、的確な投資、そして世界中に張り巡らされた盤石なサポート体制という、意図的に構築された成長エンジンによって駆動されています。

 

財務的な牽引役

 

荏原製作所全体の中で、半導体事業を担う「精密・電子カンパニー」は、今や単なる一事業部門ではありません。全社売上の3割以上を占める最大の成長ドライバーであり、収益の柱となっています 2。特に近年では、生成AI向け半導体の需要急増を背景に、精密・電子カンパニーが業績を力強く牽引し、会社全体の売上収益、営業利益を過去最高へと押し上げる原動力となっています 33。この財務的な成功が、次なる成長への再投資を可能にする好循環を生み出しています。

決算期

精密・電子カンパニー 売上収益

精密・電子カンパニー 営業利益

2023年12月期

2,781億円

509億円

2024年12月期 第2四半期

1,505億円

234億円

出典：決算説明資料等に基づき作成 33

 

未来への積極投資

 

荏原は、現在の成功に安住することなく、将来の需要拡大を見越して積極的な設備投資を続けています。その戦略は、世界の半導体サプライチェーンの動向を的確に捉えています。

  • 熊本事業所への集中投資：現在、台湾のTSMCが進出し、日本の半導体産業の中心地として「シリコンアイランド九州」の中核となりつつある熊本。荏原は、この地に主力製品であるCMP装置の量産工場を構え、昨年末には新生産棟（K3棟）を完成させました 17。これは、将来的な需要拡大に迅速に対応し、半導体産業の集積地で存在感を高めるための戦略的な一手です 31。
  • 藤沢事業所での開発強化：生産能力の増強と同時に、技術的優位性を維持・拡大するための投資も怠りません。神奈川県の藤沢事業所には、次世代CMP装置の開発を加速させるための新開発棟を建設 38。これにより開発スペースを大幅に拡張し、より複雑化・高度化する未来の半導体に対応する技術をいち早く生み出す体制を整えています。

 

グローバル・サービスという名の「堀」

 

半導体工場は、一度稼働を始めると24時間365日、止まることは許されません。装置のわずかな停止が数百万ドル規模の損失に繋がるため、メーカーにとって装置の性能と同じくらい重要なのが、迅速で信頼性の高いサポート体制です。

荏原は、この点を深く理解しており、世界中に50ヶ所以上ものサービス拠点を展開しています 5。この広範なネットワークは、単なるアフターサービス部門ではありません。顧客のすぐそばで、メンテナンス、部品供給、オーバーホール（分解修理）といったサービスを迅速に提供することで、顧客の工場の安定稼働を支える、強力な競争優位性となっています 8。一度この手厚いサポート体制を経験した顧客が、他社に乗り換えることは容易ではありません。これは、競合に対する高く深い「堀（Moat）」として機能しているのです。

 

安定性を生むバランスの取れた事業構造

 

荏原の強さは、その事業ポートフォリオの巧みさにもあります。同社のビジネスは、新しい装置を販売する「フロービジネス」と、納入後のメンテナンスや部品供給で継続的に収益を上げる「ストックビジネス」に大別されます 8。このストックビジネスが、半導体市場特有の景気変動（シリコンサイクル）の影響を緩和し、安定した収益基盤を形成しています。

さらに、会社全体で見れば、精密・電子カンパニーの他に「建築・産業」「エネルギー」「インフラ」「環境」という4つの事業カンパニーが存在します 3。この多角化経営により、仮に半導体市場が一時的に落ち込んだとしても、他の事業が会社全体を支えることができます 19。この財務的な安定性が、市況が悪化した際にも研究開発への投資を継続することを可能にし、景気回復期に競合他社をリードする力となるのです。

このように、荏原の戦略は、未来の成長を狙う積極的な「攻め」（投資）と、事業の安定性を確保し顧客を囲い込む強固な「守り」（サービス網と多角化）が絶妙なバランスで成り立っています。この攻守両面を兼ね備えた戦略こそが、同社を極めて強靭で、持続的な成長が可能な企業にしているのです。

 

結論：テクノロジーの未来を磨き上げる存在

 

本稿で分析してきたように、荏原製作所の半導体事業における圧倒的な強さは、単一の要因によるものではなく、複数の強みが有機的に絡み合った結果です。その核心を要約すると、以下の4つの柱に集約されます。

  1. 独自の技術的遺産：1世紀以上にわたるポンプ製造で培った「流体制御」と「回転機械」の深い知見が、CMP装置とドライ真空ポンプという最先端分野で予期せぬ競争優位性を生み出しました。
  2. 二つの市場での支配的地位：半導体製造の根幹をなすCMP装置とドライ真空ポンプの両方で世界シェア第2位という、他に類を見ない強固なポジションを確立しています。
  3. 戦略的な先見性：シリコンアイランド九州への集中投資や研究開発拠点の強化など、未来の需要を的確に捉えた積極的な投資を継続し、成長への布石を打っています。
  4. 強靭なビジネスモデル：世界中に広がるサービス網による顧客の囲い込みと、多角化された事業ポートフォリオがもたらす安定性により、景気変動に左右されにくい強靭な経営基盤を構築しています。

荏原製作所は、その長期ビジョン「E-Vision2030」の中で、14オングストローム（100億分の1.4メートル）世代といった最先端半導体への挑戦を通じて、暮らしの進化に貢献することを掲げています 43。

半導体業界のニュースでは、チップを設計するファブレス企業や、それを製造するファウンドリが脚光を浴びがちです。しかし、その裏側では、荏原製作所のような「見えない巨人」が、創業以来の「熱と誠」の精神で、テクノロジーの未来そのものを文字通り磨き上げ、完璧な舞台を整えているのです。私たちのデジタル社会は、こうした隠れたチャンピオンたちの揺るぎない技術力の上に成り立っていることを、忘れてはならないでしょう。

Q&A

 

Q1: 荏原製作所は、主に何を作っている会社ですか？

A: 荏原製作所は、100年以上の歴史を持つ総合産業機械メーカーです。ポンプで有名ですが、事業は大きく5つの領域に分かれています。その中でも、半導体製造装置を手がける「精密・電子カンパニー」が、現在の会社の成長を牽引する重要な柱となっています 1。

Q2: 荏原の半導体事業の主力製品は何ですか？

A: 主力製品は2つあります。1つは、半導体の基板であるシリコンウェーハをナノメートル単位の精度で平坦に磨き上げる「CMP装置」。もう1つは、半導体製造に必要な超クリーンな真空環境を作り出す「ドライ真空ポンプ」です。荏原製作所は、この両方の製品で世界第2位の市場シェアを誇ります 5。

Q3: CMP装置とは、なぜ半導体製造に重要なのですか？

A: 現代の半導体は、何百もの複雑な回路の層を積み重ねて作られます。CMP装置は、次の層を形成する前に、各層の表面を完璧に平らにする超精密な研磨機の役割を果たします。この平坦さがなければ、微細な回路に欠陥が生じ、チップは正常に動作しません。小型化・高性能化には不可欠な工程です 9。

Q4: なぜポンプの技術が半導体装置の強みに繋がったのですか？

A: ポンプ技術の核心は、液体や気体といった「流体」と「回転」を精密に制御することにあります。CMP装置は化学研磨液という流体の制御が鍵となり、ドライ真空ポンプはガスを排出するための高度な回転機械です。荏原が1世紀かけて培ってきたこの基礎技術が、半導体装置開発において大きなアドバンテージとなりました 8。

Q5: 荏原のCMP装置が競合と比べて優れている点は何ですか？

A: 重要な技術革新として、研磨・洗浄・乾燥の全工程を1台の装置内で完結させるシステムを開発した点が挙げられます。これにより、装置をメインのクリーンルーム内に設置できるようになり、半導体メーカーの生産効率と清浄度を劇的に向上させました。極めて高い精度と、顧客との緊密な共同開発体制も強みです 11。

Q6: ドライ真空ポンプの「ドライ」とはどういう意味ですか？

A: 「ドライ」とは、ポンプの動作に油（オイル）を一切使用しないことを意味します。半導体製造において、微量な油の蒸気でもプロセスを汚染し、チップを不良品にしてしまう可能性があります。油を使わない「ドライ」ポンプは、このリスクがなく、最高レベルにクリーンな真空環境を提供できるため、絶対に不可欠です 24。

Q7: 荏原製作所は将来の半導体需要にどう対応していますか？

A: 巨額の投資を行っています。例えば、TSMCの新工場が稼働する熊本でCMP装置の生産工場を拡張し、神奈川県の藤沢ではAIチップなどに向けた次世代技術の開発を加速させるための新しい研究開発棟を建設しています 17。

Q8: 荏原の半導体事業は、会社全体でどれくらい重要ですか？

A: 非常に重要です。精密・電子カンパニーは会社の主要な成長エンジンであり、全社売上の3割以上を占め、継続的に会社全体の業績を過去最高益に導いています 2。

Q9: 「シリコンサイクル」の浮き沈みに対して、荏原はどのような強みがありますか？

A: 2つの大きな強みがあります。第一に、新規装置の販売だけでなく、世界中に展開するサービスやメンテナンスによる安定した継続収入があること。第二に、会社全体が5つの異なる産業分野で事業を展開しているため、半導体市場が不調でも他の事業が支えることで、専業メーカーに比べて経営が安定しています 8。

Q10: 荏原製作所の半導体事業の今後の目標は何ですか？

A: 公にはCMP装置で世界シェアNo.1になることを目標として掲げています。より長期的には、AIやより高度な情報化社会の実現に貢献するため、世界の最先端半導体の製造を支える基盤技術を提供し続けることを目指しています 17。

引用文献

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